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Archiv verlassen und diese Seite im Standarddesign anzeigen : Dielectricum in der Halbleitertechnik


robbitop
2003-11-16, 23:27:04
LowK Dielectric - ein derzeit heikles Thema in der Halbleiter Industrie. Man berichtet über Dielectrica mit einem Wert k<3, die bei 130nm als LowK gelten.

Bei einem Kondensator ist das Material zw den beiden Elektroden das Dielectricum. Je nach Polarisierbarkeit dieses Materials fliesst unterschliedlich lang ein Strom von der Spannungsquelle an die Elektroden.

Die Dielectrizitätskonstante muss ja proportional zu den Materialeigenschaften (Dichte und polarisierbarkeit der gebundenen Ladungsträger) und der Ausdehnung des Materials sein. Je kleiner die dielectrizitätskonstante desto kürzer fliesst ein der Strom.

Bezogen auf kleine Schaltungen in der Halbleiterindustrie sind CMOS Schalter wohl auch kleine Kondensatoren. Je geringer die Dielectrizitätskonstante desto kürzer ist der Stromfluss, desto schneller können die CMOS Schlatungen schalten. (somit könnte man die Eingangsspannung ~Verlustleistung senken um ähnliche Taktbarkeit wie vorher zu erreichen)

Ist diese Annahme korrekt? Ich habe sie mir aus den ETechnik Vorlesungen so hergeleitet und bin mir dessen einfach sehr unsicher.
Desweiteren finde ich derzeit keine passenden Quellen zur Verifikation dieser These.

Kann mir jmd ein paar Quellen zum Dielektrkum bei Halbleitertechnik (MikroChips) geben?

Danke schonmal im Voraus!

Demirug
2003-11-16, 23:35:53
Schau mal dort: http://www.forum-3dcenter.org/vbulletin/showthread.php?s=&threadid=97630&highlight=LowK

ow
2003-11-17, 19:06:01
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